Nahezu bei jedem vakuumtechnischen Prozess ist es erforderlich, elektrische Leitungen zur Steuerung und Regelung bzw. zu Messzwecken ins Vakuum zu führen. An der Vakuumapparatur wird daher eine sogenannte Vakuumdurchführung angebracht, die an der Vakuum- und Luftseite elektrisch kontaktiert werden kann. In der Regel besteht sie aus einem Gehäuse und einem Isolierkörper mit mehreren Kontaktstiften. Die am Markt erhältlichen Durchführungen unterscheiden sich qualitativ hinsichtlich der verwendeten Materialien und somit in ihren Einsatzmöglichkeiten. So sind Durchführungen mit Kunststoffisolierung bzw. O-Ring-Dichtungen weder für den Ultrahochvakuumbereich noch bei Temperaturen von über 150°C zuverlässig einsetzbar.
Materialien Gehäuse: Edelstahl, FeNi oder Titan Isolator: Aluminiumoxid-Keramik Stifte: Molybdän oder FeNi-Legierung |
Arbeitstemperatur: 350°C |
Dichtheit: 1*10-9 mbar*l*s-1 |
Alle Durchführungen werden auf Wunsch mit Laser in Flansche eingeschweisst.
SMA feedthrough 50 Ohm impedance
Dimensions pin configuration outer diameter length |
1 x Ø 0,9 mm 9,0 mm 20,0 mm |
Ratings max. voltage max. current magnetic materials |
1150 V*1 10 A yes |
4-pin instrumentation feedthrough
Dimensions pin configuration outer diameter length |
4 x Ø 0,7 mm 9,4 mm 25,0 mm |
Ratings max. voltage max. current magnetic materials |
900 V*1 7 A yes |
Thermocouple feedthrough type K
Dimensions pin configuration outer diameter length |
4 x Ø 0,7 mm 9,4 mm 25,0 mm |
Ratings max. voltage max. current magnetic materials |
900 V*1 7 A yes |
5-pin instrumentation feedthrough
Dimensions pin configuration outer diameter length |
5 x Ø 0,9 mm 12,0 mm 26,2 mm |
Ratings max. voltage max. current magnetic materials |
1350 V*1 10 A (7,5 A all pins charged) yes |
SMA feedthrough 50 Ohm impedance
Dimensions pin configuration outer diameter length |
1 x Ø 0,9 mm 9,0 mm 20,0 mm |
Ratings max. voltage max. current magnetic materials |
1150 V*1 10 A yes |
10-pin instrumentation feedthrough
Dimensions pin configuration outer diameter length |
10 x Ø 0,5 mm 12,0 mm 26,2 mm |
Ratings max. voltage max. current magnetic materials |
1350 V*1 5 A (2,7 A all pins charged) yes |
12-pin instrumentation feedthrough
Dimensions pin configuration outer diameter length |
12 x Ø 0,7 mm 15,0 mm 31,0 mm |
Ratings max. voltage max. current magnetic materials |
1350 V*1 7 A yes |
19-pin instrumentation feedthrough
Dimensions pin configuration outer diameter length |
19 x Ø 0,7 mm 15,0 mm 31,0 mm |
Ratings max. voltage max. current magnetic materials |
900 V*1 7 A yes |
4-pin Power feedthrough
Dimensions pin configuration outer diameter length |
4 x Ø 2,0 mm 18,0 mm 37,2 mm |
Ratings max. voltage max. current magnetic materials |
1650 V*1 22 A yes |
8-pin instrumentation feedthrough
Dimensions pin configuration outer diameter length |
8 x Ø 1,3 mm 18,0 mm 37,2 mm |
Ratings max. voltage max. current magnetic materials |
900 V*1 7 A yes |
High voltage feedthrough
Dimensions pin configuration outer diameter length |
1 x Ø 1,3 mm 18,0 mm 52,0 mm |
Ratings max. voltage max. current magnetic materials |
9000 V*1 14 A yes |
An Vakuumapparaturen angebracht, ermöglichen Vakuumdurchführungen den Transport von Energie in den evakuierten Raum. Als Stromdurchführungen zur Übertragung elektrischer Energie oder elektronischer Signale können unsere Vakuumdurchführungen im Ultrahochvakuumbereich und bei sehr hohen Temperaturen eingesetzt werden.