Vakuumdurchführungen

Nahezu bei jedem vakuumtechnischen Prozess ist es erforderlich, elektrische Leitungen zur Steuerung und Regelung bzw. zu Messzwecken ins Vakuum zu führen. An der Vakuumapparatur wird daher eine sogenannte Vakuumdurchführung angebracht, die an der Vakuum- und Luftseite elektrisch kontaktiert werden kann. In der Regel besteht sie aus einem Gehäuse und einem Isolierkörper mit mehreren Kontaktstiften. Die am Markt erhältlichen Durchführungen unterscheiden sich qualitativ hinsichtlich der verwendeten Materialien und somit in ihren Einsatzmöglichkeiten. So sind Durchführungen mit Kunststoffisolierung bzw. O-Ring-Dichtungen weder für den Ultrahochvakuumbereich noch bei Temperaturen von über 150°C zuverlässig einsetzbar.

Spezifikationen: